SRM640g 硅粉基質標準品成分分析

NIST SRM640g 硅粉基質標準品是美國國家標準與技術研究院（NIST）研發的高純度硅粉基質標準參考物質（SRM），核心定位為硅材料（半導體、光伏級硅）中痕量雜質元素分析的量值傳遞標準，專為輝光放電質譜（GDMS）、電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）等痕量分析技術的儀器校準、方法驗證及結果溯源設計。

該標準品以干燥粉末形式供應，每個包裝單元含 10g 硅粉（分裝為 2 個 5g 密封聚乙烯瓶），物理特性為：白色疏松粉末，標稱粒徑范圍 1-5μm（D50=3μm），堆密度 1.2±0.1 g/cm3，屬于非易燃、非腐蝕性危險品，需避免粉塵吸入。

SRM640g 硅粉基質標準品其基質為電子級多晶硅，標稱純度≥99.9999%（6N 級），在此基礎上精準添加 18 種痕量雜質元素，涵蓋半導體行業關鍵控制雜質：

摻雜元素：B（硼）、P（磷）、As（砷）、Sb（銻）（濃度范圍 0.1-10 μg/kg）；

過渡金屬元素：Fe（鐵）、Cu（銅）、Ni（鎳）、Cr（鉻）、Mn（錳）（濃度范圍 1-50 μg/kg）；

堿 / 堿土金屬元素：Na（鈉）、K（鉀）、Ca（鈣）、Mg（鎂）（濃度范圍 5-100 μg/kg），所有元素標稱質量分數均處于 ppb 級（10??），適配硅材料超低雜質檢測需求。

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